業務内容Services
設計・加工販売
各種材質製品の設計・加工販売をはじめ、運搬器具・取付け治具など、お客様の要望に応じて設計・制作いたします。
リフラクトリーメタル材製品
リフラクトリーメタルとは…耐熱性金属のこと。
1000℃を超える高温において鉄やステンレス等の一般的な金属材料よりも高い機械強度を持つ材料でタングステン、モリブデン、タンタル、ニオブおよびそれらの合金を指しています。
タングステンは約3000℃までの温度領域での使用可能。難加工材ですが高度な技術で精密機械加工が可能です。
モリブデンは約2000℃まで使用可能。高温熱処理炉の構成材として多く使われます。
タンタル、ニオブも約2000℃が使用可能温度。常温で延性に富み、優れた耐食性のある材料です。
1000℃を超える高温において鉄やステンレス等の一般的な金属材料よりも高い機械強度を持つ材料でタングステン、モリブデン、タンタル、ニオブおよびそれらの合金を指しています。
タングステンは約3000℃までの温度領域での使用可能。難加工材ですが高度な技術で精密機械加工が可能です。
モリブデンは約2000℃まで使用可能。高温熱処理炉の構成材として多く使われます。
タンタル、ニオブも約2000℃が使用可能温度。常温で延性に富み、優れた耐食性のある材料です。
各種加工品 
メッシュヒーター 
タングステンヒーター 
W材Mo材ネジ加工品 
カーボン材製品
カーボン製品各種 
ビームラインパーツ各種 
カーボンリング 
カーボン加工品① 
カーボン加工品②
セラミック材製品
アルミナインシュレーター 
BN(窒化ホウ素)材加工品 
CMP装置
シリコン材製品
パドルヒーター 
シリコン電極 
サセプタヒーター 
SICサセプタ① 
SICサセプタ②
プラスチック材製品
ピーク材小ネジ 
ドライベアリング 
テフロンリング(フッ素樹脂) 
シールリング(PEEK材) 
ポリイミド
半導体・液晶製造装置プロセス向け製品
イオンインプランタ装置用パーツ 
W・Mo・Ta材加工品 
チャンバー周辺加工品 
ソースヘッドNV 
ソースヘッドUA
PVD・CVD・ETCH装置部品
ステージ 
シールド 
ETCHシャワープレート 
CVDクランプリング 
基盤ホルダー
イオンミリング
グリッド
その他半導体製造関連
オリフラ合せ器 
ドラフトチャンバ 
ハンドラー 
特別設計品
液晶装置部品
液晶装置ETCH電極構成部品 
液晶装置搬送系部品
蒸着プロセス向け
各種蒸着用ボート 
各種蒸着用フィラメント 
EBルツボ 
EBフィラメント 
BNコンポジットボート
各種電源・コントロール基盤修理／オーバーホール
半導体製造装置電源・各種電源の修理
導体装置の電源をはじめ、各種電源装置の修理業務を行っています。各メーカーのサポートが終了したDC電源・RF電源等修理対応いたします。また、中古品販売も行っています。
Arc電源 
プリント基板 
モータードライバ 
電源ユニット
ターボ分子ポンプ・輸送ロボット等のオーバーホール
導体装置で使用されている、ターボ分子ポンプのオーバーホールと修理業務を行っています。また、半導体の生産工程でウェーハを正確に輸送する輸送ロボットのオーバーホールと修理業務も行っています。
2012A 
D25OH 
RA160 
SVC-300 
搬送ロボットOH
剥離・再生
母材を傷めない剥離・再生処理
自然環境保護の一環として、金属及び金属酸化膜の剥離並びに金属の回収を行います。
エレクトロニクス産業に於いて必要不可欠な希少金属は、その殆どが製品や部品としてそのまま廃棄されています。
原料の再利用を可能にする事と有害物質の除去を目標とし、｢環境との共生｣を図ります。
半導体製造用イオン注入装置メンテナンス
半導体製造装置の定期メンテナンス代行業務
半導体製造装置の定期点検・メンテナンスを安全で確実な作業を行います。